第五百二十四章世界前五的天才
在南方光學里，徐申學看到了他們的先進第五代S傳感器的產(chǎn)線，同時也看到了他們還在實驗室里的第六代S傳感器的樣品。
當然更重要的還是看了他們的光刻機鏡片生產(chǎn)線！
這個光刻機鏡片的生產(chǎn)線，和常規(guī)工業(yè)產(chǎn)品的廠房是有巨大差異的。
徐申學所看到的是更像是實驗室一樣的生產(chǎn)車間，里頭有著大量的頂級的設備，并且整個生產(chǎn)環(huán)境都是屬于高度無塵環(huán)境。
南方光學的負責人解釋道：“車間里生產(chǎn)的是EUV光刻機使用的鏡片，其平面精度非常高，空氣里隨便一?；覊m落在上面，都意味著超高精度的鏡片上出現(xiàn)了一座‘大山’，為了制造這種鏡片，必須在超潔無塵環(huán)境下進行！”
“現(xiàn)在這個車間生產(chǎn)的鏡片，是用于HEUV-300B光刻機的主鏡片，鏡面直徑達到一米，但是表面粗糙度只有三十五皮米，而面精度，即峰值與谷值的差值只有0.15納米。”
“也只有這種平整度的鏡片，才能夠鏡收集極紫外光光源，最后產(chǎn)生穩(wěn)定的13.5納米的極紫外光光束用于曝光生產(chǎn)！”
“為了達到這種超高精度，我們在材料上使用了總公司材料研究院研發(fā)的XHJ14鉬/硅復合材料，足以反射極紫外光不吸收，同時在加工上，我們通過采用離子束拋光為主，再輔以磁流變拋光等多種拋光技術，通過多種不同的拋光工藝相互結(jié)合，逐步平整鏡片，最后達到了設計要求！”
“這位是我們南江科技的副總經(jīng)理兼光刻機鏡片事業(yè)部總經(jīng)理，我司首席科學家曹星辰曹教授，之前的DUV鏡片以及現(xiàn)在的EUV鏡片，都是他帶著團隊做出來的！”
徐申學看著前方這個小老頭，臉上帶著熱誠的笑容上前握住了曹教授的手：“多虧曹教授的多年辛苦，這才能夠搞出來至關重要的光刻機鏡片，才能夠打破國外的光刻機封鎖，國內(nèi)半導體事業(yè)的蓬勃發(fā)展，曹教授居功至偉啊！”
內(nèi)容未完，下一頁繼續(xù)閱讀