徐申學點頭，對林雅嫻他還是放心的。
對于智云科技這種超大型的企業，高級人員管理也是非常復雜的事，有時候走夫人路線也是能發揮一定作用的……當然，用處也不大就是了。
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后續幾天徐申學又連續跑了一趟海灣科技，看了DUV干式光刻機的其他幾種測試項目，測試結果都還算不錯，雖然還是一樣一大堆毛病，但是總的來說還算堪用。
“這也算是做的差不多了，回頭我讓智云微電子的人過來，到時候下弄幾臺過去一起進行測試調整，爭取盡快把剩下的問題解決了早日量產，并投入到生產！”
“這六十五納米以及九十納米的工藝節點，也是目前我們芯片制造部門里的重要技術節點，這DUV干式光刻機用處還是非常大的！”
王道林道：“有晶圓廠一起配合進行各種測試和改善工作，這可比我們自己悶著頭瞎捉摸強多了！”
趁著這功夫，徐申學又看看離子注入機，蝕刻機等核心設備的研發情況，這些項目又快的又慢的，快的估計今年也能夠拿出來新一代的樣機滿足六十五納米產業線上的需求，而慢的可能要明年甚至后年去了。
很多設備沒啥名氣，咋一看似乎不如光刻機困難，但實際上有一個算一個，全都是技術難度非常高的高精尖設備，研發難度也是非常大的。
光刻機這東西只是單純名氣大而已！
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