結果這一次運氣爆棚，王斌耀搞出來的多種潛在的光敏聚合材料里，其中有一種性能還不錯，達到了滿足EUV光刻機對光刻膠的苛刻需求。
當然，僅僅是這樣還不夠，實際上他們之前也做出來了一種光敏聚合物材料，適合EUV光刻機使用，但問題是那種材料是一種低溫材料，對使用環(huán)境要求非常苛刻，得零下好幾十度才能用，而且制備成本也高，不具備實際使用價值。
而這一次搞出來的新型光敏聚合物材料，卻是在常溫常壓情況下就能夠使用，并且按照理論上來說，制備難度也不大……成本雖然高一些，但是后續(xù)通過工藝改良，大規(guī)模量產(chǎn)是能夠把成本給降低下去的。
這種新型光敏聚合物材料的研發(fā)成功，讓王斌耀興奮的很……他感覺自己最近的研發(fā)狀態(tài)好的很。
而且這不是自己的感覺，而是得到了研發(fā)成果證明的事實。
既然如此，那么還等什么，各種材料項目安排上，他要大干一場……
于此同時，仙女山控股旗下的華賽電子有限公司，本來還發(fā)愁著先進光刻膠材料的研發(fā)遲遲沒有成功……人家隔壁的海灣科技都部已經(jīng)開始倒騰EUV光刻機原型機了。
如今EUV光刻機的各種子系統(tǒng)都已經(jīng)折騰的七七八八了，從光源再到鏡片，然后到工作臺等各核心系統(tǒng)都弄的差不多了。
不出意外今年年底，他們甚至都能夠拿出來第一臺實驗性原型機……雖然這個原型機不具備實際使用價值，后續(xù)還需要繼續(xù)折騰琢磨好幾年，才能夠達到量產(chǎn)水平。但是人家好歹是搞的差不多了。
但是EUV光刻機所使用的光刻膠材料，自己這邊卻是遲遲沒有進展，所以華賽電子這邊其實也比較著急。
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