第一百五十八章仙女山控股
不過很快吳德義就釋然了，自己現在工作的智云科技可是一年數百億美元營收，毛利潤都有一百多億美元的跨國科技巨頭，其利益綁定以及自身的現金流是極其恐怖的，和尋常企業那是兩碼事。
吳德義不知道最后公司會怎么解決這些專利問題，但是既然公司說了不用擔心，他也就不管那么多了，繼續搞就是了。
當即吳德義收拾了心情，繼續給徐申學解釋道：“利用浸潤式光刻機，則是可以向下突破四十五納米工藝，做到四十五納米乃至二十八納米工藝，我們公司的下一步目標就是四十五納米，然后是二十八納米，逼近DUV浸潤式光刻機的物理極限！”
徐申學道：“二十八納米就是極限了？我聽說不是正在搞比節點更低的工藝嗎？聽說臺積電那邊的二十八納米節點已經差不多可以用了，興許明年就能用上了！”
“同時還聽說他們打算把工藝節點進一步往前推移到二十納米的節點呢！”
吳德義道：“其實二十八納米已經逼近這種DUV浸潤式光刻機的物理極限了，雖然特定情況下單次曝光可以達到二十二納米左右的程度，但是沒有什么實際價值。”
“DUV浸潤式光刻機的單次曝光，其成熟工藝基本就限定在二十八納米了。”
這個時候，一旁的丁成軍也道：“這也是為什么193納米波長的DUV浸潤式光刻機，又被稱之為28納米光刻機的主要緣故……就是這種光刻機的理論物理極限就是單次曝光二十八納米了！”
“據我所知，臺積電，英特爾等公司嘗試著讓DUV浸潤式光刻機，在逼近了193波長的物理極限后，通過改變芯片設計，然后做出來等效工藝，但是柵極長度并不會有太大的改變了。”
吳德義這個時候也道：“此外還可以采用多重曝光工藝。”
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