”我們的目標，是爭取在后年，把這十多種核心設備的技術指標，全部提升到滿足等效10納米工藝的程度?！?br>
”然后在這個基礎上，繼續向7納米工藝乃至未來的5納米工藝所需要的技術指標推進！”
“對此，我們的信心還是很大的！”
徐申學心中則是暗道：“二十個S級科研名額，百十多個A級科研名額都投在了仙女山控股體系下，如果你們還沒信心，我就要懷疑你們是不是有真材實料了?！?br>
仙女山控股體系下的各企業，一向來是徐申學的科研名額的投入大戶，每個月新增加的成就點所購買的S級以及A級別的科研名額，基本都是給仙女山控股體系這邊用了。
智云集團那邊除了智云微電子外，其他項目組，子公司都已經好久沒有得到過A級以上的科研名額新增了，都是用原來的一些科研名額頂著，不過原來分配過去的高級別科研名額也不少，所以也夠用了。
看完了諸多這些現成的核心設備，徐申學又了解了一番EUV光刻機的研發進度。
王道林介紹道：“目前我們正在匯同各大子系統供應鏈企業，對EUV的多種關鍵技術進行集中攻關！”
“主要是EUV光源系統，高精度的弧形離軸反射鏡構成的光學系統，還有超高精度的真空雙工件臺?！?br>
“除了光刻機本身的技術外，我們也在配合仙女山控股體系下的其他兄弟公司，研發EUV掩膜版，沉積工藝等等。”
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