“而我們負(fù)責(zé)主導(dǎo)的EUV光刻機研發(fā)上，目前光源系統(tǒng)的進(jìn)度是比較快速的，我們之前獲取了完整了EUV所使用極紫外光光源的技術(shù)資料，而經(jīng)過我們數(shù)年的反復(fù)嘗試和試驗，已經(jīng)算是制造出來了極紫外光的光源！”
“但是距離實用性還有一定的差距，我們的激光部分問題不大，但是在激光轟擊錫滴的頻率還是不夠，無法達(dá)到技術(shù)資料上所需要的每秒五萬次。”
“我們已經(jīng)針對這個技術(shù)難題牽頭，進(jìn)行了技術(shù)攻關(guān)，目前進(jìn)展還算順利，也許明年年中我們應(yīng)該就能夠把這個光源給搞出來！”
“還有則是光源的反射鏡，因為極紫外光的特殊性，很多材料無法反射這種光線，而是會被吸收，因此我們還需要一種全新材料所制造的反射鏡來反射這種極紫外光！”
“這部分工作主要由南方光學(xué)所承擔(dān)，據(jù)我所知，他們已經(jīng)嘗試研發(fā)出來一種鏡面材料，效果很不錯，如今的難題是卡在了及鏡面加工上，EUV光刻機所需要的鏡面精度，超過了DUV光刻機鏡面精度一個量級，他們正在和國內(nèi)的幾家科研所進(jìn)行合作，準(zhǔn)備搞這個鏡面加工。”
“雙工臺的話，這個難度倒是稍微低一些，我們?nèi)缃竦碾p工臺技術(shù)還是很不錯的，哪怕直接套用也勉強可行，只是會浪費EUV的13.5納米的光源所帶來的精度而已。”
“我們也正在開發(fā)精度更高，效率更高的雙工臺，為EUV光刻機進(jìn)行配套！”
“整體下來，我們的EUV光刻機目前所遇到的技術(shù)難題還是比較多，光源系統(tǒng)和雙工臺系統(tǒng)都還算好，我們還是有把握的，不過這反射鏡就不太好搞了。”
“畢竟按照南方光學(xué)的說法，他們搞的這反射鏡系統(tǒng)，其精度幾乎等同于從地球發(fā)射一道激光，然后準(zhǔn)確命中月球上的一個足球，難度是相當(dāng)大。”
“因為這個反射鏡系統(tǒng)比較難搞，我們的EUV光刻機的具體進(jìn)度如何，也就要看這個反射鏡系統(tǒng)什么時候能夠搞出來了。”
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