第四百二十四章制裁：百分百汽車關(guān)稅
深城，海灣科技的三號樓，也是EUV項目辦公樓里的一樓實驗室里。
徐申學帶著幾個集團高管在海灣科技的眾人陪同下，參觀了這臺EUV光刻機原型機。
EUV光刻機這東西，光看外表也看不出來什么，就是一個大柜子……光看這個大柜子，普通人很難想象這東西的價格得至少一點五億美元甚至更貴。
此時海灣科技的CEO王道林，則是一臉興奮的向徐申學介紹著這臺原型機的基本情況：“我們的這臺原型機在研發(fā)的時候，已經(jīng)歷經(jīng)了多次的試驗機型的研發(fā)，以逐步提升技術(shù)水準！”
“如在關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)，也就是數(shù)值孔徑上，我們一開始只能做到0.25，而而這一水平的數(shù)值孔徑下，哪怕是我們采用了波長更短極紫外光，但是最后做出來的分辨率依舊不行，第一代試驗機的分辨率只有三十五納米！”
“后續(xù)我們繼續(xù)研發(fā)，通過多系統(tǒng)的整合，先進材料的進一步應用，把數(shù)值孔徑提升到了0.33，也就是國外ASML旗下產(chǎn)品的同等水準。”
“同時我們在其他子系統(tǒng)，尤其是光源系統(tǒng)以及鏡片系統(tǒng)上也獲得了巨大的技術(shù)進步，等到第二代試驗機的時候，我們已經(jīng)把分辨率提升到了二十納米！”
“理論上來說，這個分辨率已經(jīng)很不錯，已經(jīng)可以用來生產(chǎn)現(xiàn)在的這些十納米等效工藝，十二納米等效工藝，甚至等效七納米的芯片了！”
“但是性價比太低了，現(xiàn)在的EUV光刻機研發(fā)成本投入巨大，同時制造的硬件成本也會非常大，最后售價可能是現(xiàn)有的DUV浸潤式光刻機的兩倍以上，但是EUV光刻機的生產(chǎn)效率目前還無法提升，只維持在每小時一百片的水準，這意味著從商業(yè)價值上來說，第二代試驗機依舊沒有實際價值，同時當時的套刻精度也只有二點五納米。”
“而我們目前量產(chǎn)的最先進的HDUV-600B型光刻機，分辨率達到38納米，套刻精度2.5納米，已經(jīng)可以很充分的滿足10-14納米工藝的芯片生產(chǎn)需求，性價比更高！”
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