“很多東西都要從原材料開始研發(fā)！”
王道林說著的時候，一旁的南江科技的研發(fā)部門負責(zé)人曹星辰也是接上了話頭：“不錯！”
“我們公司是搞物鏡，為了這個DUV光刻機的物鏡，我們是從材料到加工工藝，全都是重新搞的！”
“我們南江科技主導(dǎo)，還拉著一大票研究所，合作企業(yè)，同時展開了數(shù)十個新材料研究項目，挨個測試各種材料并對材料進行針對性的改進。”
“最終花了兩年多時間，這才弄出來了堪用的材料！”
“但是弄出來材料還不行，然后還得加工??！”
“這加工更難！”
曹星辰說的時候，也是回想起來了之前的研發(fā)困境，不由得感嘆：“光刻機所需要的鏡片精度是非常高的，通常需要達到波長的五十分之一，比如我們這DUV干式光刻機的光源波長是193納米，五十分之一就是三點八六納米！”
“這種精度的加工，幾乎超過普通人的想象！”
“而我們南光之前在生產(chǎn)I-line光刻機鏡片以及KRF光源鏡片的時候，采用的是國內(nèi)現(xiàn)有的一些技術(shù)，比如小磨頭拋光、磁流變拋光等技術(shù)。”
“原有的這些技術(shù)用來加工DUV光刻機所需要的鏡片還不夠！”
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