“而且想要在原來的技術路線想要獲得更大的突破，達到蔡司，尼康等廠家的水準難度非常大。”
“為了解決這一問題，我們的研發(fā)團隊一邊現(xiàn)有技術進行研發(fā)，一邊開發(fā)新技術，其中的一項新技術得到了迅速發(fā)展，這就是離子束拋光技術。”
說到這個離子束拋光技術的時候，曹星辰整個人都變的激動了起來：
“這項技術雖然也很難研發(fā)，為此耗費了我們大量的人力物力，但是真正做出來后效果那是真的好啊！”
“利用該技術我們可以輕易的加工出來滿足DUV干式光刻機需求的鏡片，甚至后續(xù)工藝繼續(xù)改進后，搞出來DUV浸潤式光刻機的鏡片也是問題不大！”
DUV干式光光刻機和浸潤式光刻機，雖然使用的光源都是ARF光源，但是浸潤式光刻機的光源經(jīng)過超純水的折射后，波長卻是演變?yōu)?34納米。
因為兩者雖然光源系統(tǒng)看似一樣，但是對物鏡以及其他子系統(tǒng)的要求是不一樣的。
曹星辰繼續(xù)說著：“甚至在這項技術上繼續(xù)耕耘下去，未來是能夠搞出來精度更高，可用于EUV光刻機所需要的鏡片的！”
一代代光科技的技術升級，除了光源系統(tǒng)不斷升級進步外，還需要其他諸多子系統(tǒng)的配合，而物鏡就是這一系列子系統(tǒng)里最為關鍵的部分。
以上這兩點是影響光刻精度最核心的子系統(tǒng)。
當然，其他方面，比如機臺對準等也不能差就是了。
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